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用于红外短波探测器的微透镜矩阵制造
时间:2019-09-10 09:30 来源:365bet规则 作者:admin 点击:
关键词:微透镜矩阵检测器
概述:特定尺寸的微透镜采用光刻胶热熔法制造,可应用于1μm~3μm的短波红外探测器,有效提高探测器的光电性能。
使用UV光刻技术,使用AZP 4620厚膜光保护,对镜片生产中的预煮,曝光和显影过程,硬膜和热熔胶进行全面彻底的实验研究,并确定参数流程优化。表冠的直径为(5)。
5±0
5)具有μm,曲率半径3μm的微透镜和透镜具有良好的均匀性和一致性,以满足近红外探测器的要求。
9?DhM9VUejZ-A?
关键词:微透镜组。热熔方法,具有光保护。熟。热融合